手套箱故障分析
一、工作气压力过低
1. 检查工作气体是否充足;
2. 减压表是否损坏。
二、循环自动停止
1. 箱体压力过高会造成手套箱自动停止循环,检查是否有工作气持续补进去;
2. 箱体压力过低造成手套箱循环自动停止循环,OLED手套箱哪家好,检查过渡舱是否关严;检查其他有可能没有关严造成跟真空泵直通;
3. 检验压力传感器是否损坏。
4. 检查气源压力是否在0.4-0.6MPa
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真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层**薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在**真空腔室中设有多个放置**材料的蒸发舟,手套箱哪家好,加热蒸发舟蒸镀** 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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手套箱操作步骤
抽真空与充气的放法:
1、本产品分为主箱体和过渡室两部分。主箱体不能单独抽真空,过渡室则可以单独抽真空。
2、先打开过渡室里面的门,然后关上所有手套接口压盖、阀门和过渡室外的门。
3、打开手套口之间的三通阀(逆时针旋转),将手套接口压盖与手套之间的空间接通箱体,使得抽气时手套内外(箱体和接口)同时抽真空,保持两边气压平衡。
4、将真空泵接到过渡室一个阀门上,开启真空泵,核工业手套箱哪家好,缓缓打开此阀门,核工业防护手套箱哪家好,对系统抽气(如打开阀门的速度太快,可能引起手套膨胀)。
5、待真空表指针下降并稳定在—0.1MPa时,抽真空完成,此时应先关阀门再关真空泵。
6、然后通过另一阀门向箱体内充入惰性气体,直至气压比大气压(气压表指数为0MPa)略高一点,使箱体内、外的压力基本平衡,且内部略**外部,可保证大气不会渗入箱体内部(如果您想使箱体内的气体更纯净,将以上抽气和充气过程重复几次)。关掉连接手套接口的三通阀,打开手套接口上的压盖,就可以进行操作了。
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