真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层**薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在**真空腔室中设有多个放置**材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀** 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,北京手套箱价格,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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核工业手套箱
世界先进的防泄漏技术
防止辐射:使用铅板、含铅玻璃、含铅手套
**低水氧含量:威格无泄漏密封使得手套箱在负压下运转,维持水氧含量小于1PPM
安全更换手套:负压更换手套避免空气和核1泄漏,箱体内水氧含量上升值不**过1PPM
安全核物料转移:使用Bag-in-Bag-out装置,确保物料转移过程中不污染环境。
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手套箱操作前的工作
1、检查氮气瓶里是否有氮气,OLED手套箱价格,氮气要及时更换,核工业防护手套箱价格,氮气的输出压力设定为0.5mpa。
2、检查真空泵是否正常开启。
3、检查手套箱内循环是否打开。(净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一个)
4、检查设定里的上限压力应为+1,下限压力为0
5、检查氧和露1点是否正常(氧为0.1ppm以下,露1点-40以上)
6、过度舱真空泵应处于常开状态
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