特种气体使用安全
首先,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全隐患。根据行业规范,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和氦测漏,确保系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次,采用监测手段,预防事故发生。设置气体泄漏侦测器,监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。危险气体应设置过流开关。特气系统气柜应进行负压监测,防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
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特种气体的应用
电子工业是当今推动科技发展的**产业,由于所用气体的品种多、质量要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的**产业。电子行业常用的特气**过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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电子特气系统的维护
由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,高纯供气生产厂家,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。
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